产品详情
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分辨率
25nm
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重复定位精度
±25nm
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角度轴
±0.003°
- 3维高速、高精度直线电机滑台加3维电动角度滑台
- 力反馈高精度电动吸夹一体夹爪，实现FA的高精度稳定夹持
- Fa吸附上料台，Fa无损上料
- 俯视相机自动识别芯片位置，可视化耦合和点胶
应用领域
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光纤通信
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光纤传感
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大功率激光
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激光投影
