产品详情
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分辨率
25nm
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重复定位精度
±50nm
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角度轴
±0.003°
- 采用高精度压力传感器，达成PIC芯片和FA间距微米级精度控制
- 采用直线电机驱动，闭环精度25nm，具有高速高精度特点
- 采用力反馈高精度电动吸夹一体夹爪，实现FA的高精度稳定夹持
- 采用高精度光谱共焦激光传感器，实现高精度的FA和芯片的姿态校准
应用领域
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光纤通信
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光纤传感
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大功率激光
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激光投影
