产品详情
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分辨率
25nm
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重复定位精度
±50nm
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角度轴
±0.003°
- 双六轴耦合部分采用3维高速、高精度直线电机滑台加3维电动角度滑台
- 夹持部分采用两边平行开闭的电动夹爪，夹爪开闭平滑无冲击
- 俯视相机自动识别芯片位置，可设置初始耦合时lens与芯片的间距
- 自动调节出胶时间以精确控制胶量，自动补胶
应用领域
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光纤通信
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光纤传感
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大功率激光
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激光投影
